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Leica EM ACE600是多用途高真空薄膜沉积系统,根据FE-SEM和TEM应用的需要生产非常薄的,细粒度的和导电的金属和碳涂层,用于最高分辨率分析。
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溅射电流:0-150mA可调
镀膜厚度精度:0.1nm
样品仓尺寸:200mm (宽) X 150mm(深)X 195mm(高)
工作模式:离子溅射、碳棒蒸发,并可选辉光放电
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Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪, 真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵,无油真空系统,真空度可达2×10-6mbar,镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器,可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制,自动完成抽真空,镀膜,放气等全过程,一键操作。采用当下最流行的触摸屏控制,简单方便。仪器可选离子溅射镀金属膜,满足高分辨场发射扫描电镜(FESEM)需求。可选碳丝蒸发镀碳膜,用于X-射线能谱及波谱分析,或者TEM铜网镀碳膜。还可以选择电子束蒸发方式镀膜,获得极其细腻的金属膜与碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。
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样品或铜网镀碳膜或金属膜,用于扫描或透射电镜观察。