电子束电流范围：在所有加速电压下 0.8 pA 至 100 nA

加速电压范围：350 V – 30 kV

着陆能量范围：20* eV – 30 keV

最大水平射野宽度：4 mm WD 时 2.3 mm

离子种类（初级离子束）：Xe、Ar、O、N

切换时间 <10 分钟，仅需软件操作

离子束电流范围：1.5 pA 至 2.5 μA

加速电压范围：500V – 30 kV

最大水平射野宽度：在等离子束重合点处为 0.9 mm

XY 范围：110 mm

Z 范围：65 mm

旋转：360°（无限）

倾斜范围：-38° 至 +90°

XY 重复性：3 μm

最大样品高度：与共心点间距 85 mm