截面厚度设置：0.5 - 300μm

最大样本尺寸：40mm x 55mm

水平步进：25mm

垂直步进：59mm

标本回缩：50pm

样本定位精度8°(x/y/z轴)

修块：5 - 150μm±0 5μm，5、10、30、50、100和150μm

两种步进速度：500μm / s； 1000μm / s