离子束分辨率：≤3nm@30KV（采用统计平均算法）。

离子源束流：1pA-100nA。

离子源寿命：不小于1500h。

离子束加速电压：0.5-30KV ，10V步长连续可调。

放大倍数：300x-500,000x连续可调。

热场发射电子枪: 稳定度优于0.2%/h。

二次电子分辨率：0.9nm@15KV，1.6nm@1KV。

电子束电压调节范围：0.02-30KV，10V步长连续可调，无需模式切换。

电子束束流：10pA-40nA。

放大倍数：12x-2,000,000x连续可调。

探测器系统: 样品室内二次电子探测器; 镜筒内正光轴二次电子探测器; 镜筒内正光轴背散射电子探测器，适合重金属染色生物组织块样品成像。配有能量栅网，可以通过调节能量（0V到-1.5KV）来进行成像，获得最佳衬度图像，同时可以有效地消除curtain（窗帘）效应对图像的影响。

气体注入系统: 铂沉积气体，通过GUI软件控制，气体容量为1.9cm³。

单张图像存储分辨率：最大可达32k x 24k像素，16位。

等离子清洗系统: 可以清洗电镜样品仓及电镜样品，防止样品对电镜和成像造成污染。

镜筒内具有静电透镜设计，完全无漏磁透镜，因此可以在离子束进行加工同时进行电子束高分辨成像，提供工作效率。